问答题X 纠错
1、冷却水不足,必须关闭扩散泵,否则轻则会造成返油,重则会使扩散泵过热造成扩散泵油烧焦。(机器若有自动保护装置,会自动停止扩散泵加热,并报警) 2、扩散泵必须在低真空阀关闭,预抽阀开启,且系统真空高于真空室真空时才能打开,否则会造成真空室返油。
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