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填空题

测量真空的器械称为()。一般分为电离规真空计和()两种。

参考答案:真空计;电阻式真空计

填空题

光学厚度=()×()。

参考答案:物理厚度;折射率

填空题

目前规定的防污板更换周期为()罩。更换防污板空镀时要镀()。

参考答案:12;铬

填空题

目前GENER机的透亮工艺其烘烤温度是()。

参考答案:250/150/150

填空题

产品规格为77*77的晶片,镀膜一罩可以装120片,下片时由于不小心弄碎了1片,那么该罩的碎片率为()。

参考答案:0.8%

填空题

镀膜膜层厚度监控方法有()和()两种。

参考答案:晶控;光控

多项选择题

A、整罩分光特性超差
B、均匀性不好
C、表面不好
D、膜层牢固度不好

多项选择题

A、整罩分光特性超差
B、均匀性不好
C、表面不好
D、膜层牢固度不好

单项选择题

A、整罩分光特性超差
B、均匀性不好
C、表面不好
D、膜层牢固度不好

单项选择题

A、整罩分光特性超差
B、均匀性不好
C、表面不好
D、膜层牢固度不好

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