A、电子枪
B、扩散泵
C、坩埚盘
D、晶振头

A、真空室内达到一定的真空度，开始加电流预熔材料
B、光斑不能打到坩埚边上，更不能打到坩埚外边
C、预熔时的最高电流一定要高于蒸发时的电流
D、不同材料不同的预熔电流

A、蒸发速率稳定情况
B、APC充氧情况
C、电子枪光斑位置及大小情况
D、光控曲线的走向及形状.

A、EB1上方的修正板升起
B、EB2上方的修正板升起
C、EB1上方的修正板下降
D、EB2上方的修正板下降

A、光学膜厚仪控制
B、电子枪控制
C、晶振膜厚仪控制
D、电脑控制

A、1.5E-3Pa
B、5.0E-3Pa
C、2.0E-3Pa
D、5.0E-5Pa

A、OPM
B、EB
C、MBP
D、PFC

A、FV
B、MBP
C、MV
D、DP

A、镀膜材料受到污染
B、内外排分布不均匀
C、温度没有加
D、充氧不够

A、光斑不在中心位置
B、修正板变形
C、电子枪档板松掉
D、蒸发速率不稳

A、1
B、2
C、3
D、4