MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点。

完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。

Micro-Electro-Mechanical Systems

气敏传感器的特性主要有灵敏度；响应时间；选择性；稳定性；温度特性；湿度特性；电源电压特性。

超声波是一种在弹性介质中的机械振荡，有两种形式：横向振荡（横波）及纵向振荡（纵波）。

它具有频率高、波长短、绕射现象小的特点，特别是方向性好、能够成为射线而定向传播等。

大气的干湿程度通常用绝对湿度和相对湿度来表示。
露点：降低温度可使未饱和水汽变成饱和水汽。