超精密切削加工主要用于加工软金属材料，如铜、铝等非铁金属及其合金，以及光学玻璃、大理石和碳素纤维板等非金属材料，主要加工对象是精度要求很高的镜面零件，因此要求刀具的刃口半径要尽量小，而金刚石刀具的刃口半径可达到纳米级水平，所以当今超精密切削加工一般都采用金刚石刀具。