A.优质
B.能耗大
C.洁净
D.灵活

C.机械加工系统
B.控制系统物
C.质量保证子系统d.监控系统

A.工程设计自动化子系统、管理信息子系统；
B.制造自动化子系统、质量保证子系统
C.计算机网络子系统、数据库子系统

A.集中控制方式
B.主从控制方式
C.分散控制方式
D.点位式

A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
D.运动速度

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工

a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；