C.机械加工系统
B.控制系统物
C.质量保证子系统d.监控系统

A.工程设计自动化子系统、管理信息子系统；
B.制造自动化子系统、质量保证子系统
C.计算机网络子系统、数据库子系统

A.集中控制方式
B.主从控制方式
C.分散控制方式
D.点位式

A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
D.运动速度

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工

a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

A.光学显微镜
B.扫描隧道显微镜
C.原子力显微镜

A.大批大量生产方式
B.品种单一、中等批量生产方式
C.多品种、变批量生产方式