①电机没有油，固定螺栓松动，入口真空度低，出口阀没开或开度小，气缸进水，真空泵运行带液；
②泵的零件损坏或有固体进入泵内；
③电机轴承或轴摩擦、磨损；
④泵和电机线没有校好。

①清入口滤器和入口管线；
②出口流程打通正常；
③活塞坏找维修处理。