SF₆气体检漏分为定性和定量检漏两种。在现场，定性检漏更实用，具体包括简易定性检漏、压力下降法、分割定位法和局部蓄积法。
（1）简易定性检漏：是使用一般的检漏仪，对所有组装的密封面、管道连接处以及其他有怀疑的地方进行检测。
（2）压力下降法：即用精密压力表测量SF₆气体压力，隔数天甚至数十天进行复测，结合温度换算或进行横向比较来判断可能的压力下降。
（3）分割定位法：适用于三相SF₆气路连通的断路器，如已确认有泄漏但难于定位时，可把SF₆气体系统分割成几部分，再进行检漏，从而可以减少盲目性。
（4）局部蓄积法：是用塑料布将待测部位包扎起来，经过数小时后再用检漏仪测量塑料布内是否有泄漏出的SF₆气体。该方法灵敏度高，特别是在户外刮风较大时实用性更大，是目前最受推广和采用的定性检漏方法。