固体介质击穿主要有电击穿和热击穿两种形式。
（1）电击穿：固体介质的电击穿和材料本身的结构特性、电场均匀程度有关。如材料本身有气泡，一方面相当于厚度减少，另一方面气泡处电场强度很大，易发生游离，使击穿电压降低。
在均匀电场中，击穿电压和介质的厚度成正比；而在不均匀电场中，其极不均匀处首先容易发生游离，致使击穿电压明显降低。
（2）热击穿：固体介质的热击穿，是介质在电压作用时间较长的情况下发生的。固体介质在电场的作用下，其介质损耗使介质内部发热，温度上升。由于发热量大，则内部温度不断升高，特别是内部有局部损伤，如有气泡或有潮气时，则发热就更严重，最后会丧失绝缘性能，导致击穿，即称热击穿。