问答题X 纠错
优点:①台阶覆盖能力好;②能沉积金属合金;③能进行原位溅射刻蚀。 缺点:溅射速率低,金属膜含氩。
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问答题
优点:①成膜速率高(能蒸发5微米厚的铝膜);②金属膜纯度高。 缺点:①台阶覆盖能力差;②不能沉积金属合金。
优点:吸附可动离子电荷改善器件界面,降低玻璃的软化点温度易于平坦化。 缺点:易吸潮,一般控制P2O5的含量在4%以下。
名词解释
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