问答题X 纠错
影响CVD生长速率的因素:①质量传输限制(常压CVD);②表面反应限制(低压CVD);③CVD气流动力学;④CVD反应中的压力。
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问答题
名词解释
①刻蚀速率; ②刻蚀偏差; ③选择比; ④均匀性; ⑤刻蚀剖面。
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