问答题X 纠错
①气相成底膜;②旋转涂胶;③软烘;④对准和曝光;⑤曝光后烘培(PEB);⑥显影;⑦坚膜烘培;⑧显影检查。
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问答题
名词解释
说明扩散杂质的高斯分布特点(有限源扩散属于此分布)
①在整个扩散过程中,杂质总量保持不变; ②扩散时间越长,扩散温度越高,则杂质扩散得越深,表面浓度越低; ③表面杂质浓度可控。
说明扩散杂质的余误差函数分布特点(恒定表面源扩散属于此分布)
①间隙式扩散; ②替位式扩散。
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