问答题X 纠错
第一阶段:反应速度决定氧化速度,主要因为氧分子、水分子充足,硅原子不足。 第二阶段:扩散速度决定氧化速度,主要因为氧分子、水分子不足,硅原子充足。
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区熔法(FZ法)的特点使用掺杂好的多晶硅棒; 优点是纯度高、含氧量低; 缺点是硅片直径比直拉的小。
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