由于绝缘材料温度的增加，介质损耗不断增大，产生了材料的漏泄电流，使材料的温度更为增高。当绝缘材料增加的热量大于散发的热量时，则使材料老化，从而造成了材料炭化，这种现象便叫绝缘材料的热击穿。
影响热击穿的因素有：材料周围的温度过高，散热条件不好，绝缘体过厚，材料导热性能不好，作用的电压频率过高。