氟化物常用的预蒸馏方法有：
（1）直接蒸馏法：在高沸点酸介质中（如硫酸），水中氟化物直接以氟硅酸或氢氟酸形式被蒸出。为了避免馏出物带出硫酸，蒸馏温度不要超过180℃。该法简单，蒸馏效率高，但蒸馏温度较难控制，易发生暴沸。当水样中氯化物含量过高时，可于蒸馏前加入适量固体硫酸银再蒸馏。
（2）水蒸气蒸馏：在水样中加入高氯酸加热，在130~140℃通入水蒸气，水中氟化物以氟硅酸或氢氟酸形式被蒸出，收集馏出液用于测定。当水样中含有高浓度有机物时，为避免与高氯酸反应而发生爆炸，可以用硫酸代替高氯酸。水蒸气蒸馏可以较为严格地控制反应温度，排除干扰的效果好，安全。
测定水中氟化物的方法：离子色谱法；离子选择电极法；氟试剂分光光度法。