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填空题

超声冲击磨蚀工具头与加工孔的侧隙()磨粒直径。

参考答案:大于

填空题

换能器的作用就将超声频的电信号转化成()。

参考答案:机械振动

填空题

超声加工去除材料的机理是磨料的()作用产生微裂纹、()作用,以及液体在超声振动下产生的()现象和楔入裂纹缝隙,也加强了破坏蚀除作用,故只能加工()材料。

参考答案:冲击;抛磨;空化;脆硬

填空题

超声冲击磨蚀采用机械 能量,超声复合加工有:()、()、()以及()。

参考答案:超声珩磨;超声砂带磨削;超声金刚石砂轮磨削;超声切削

填空题

常用的超声变幅杆有()、()、()及()等形式。

参考答案:指数型;双曲线型;锥形;阶梯型

判断题

离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

参考答案:

判断题

由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射,产生不稳定现象,所以在加工过程中,需要利用真空吸力,不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

参考答案:

判断题

只有在较高的真空条件中,电子和离子才能高速运动。

参考答案:

判断题

离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

参考答案:

判断题

离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

参考答案:
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