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填空题

超声冲击磨蚀采用机械 能量,超声复合加工有:()、()、()以及()。

参考答案:超声珩磨;超声砂带磨削;超声金刚石砂轮磨削;超声切削

填空题

常用的超声变幅杆有()、()、()及()等形式。

参考答案:指数型;双曲线型;锥形;阶梯型

判断题

离子束曝光,即用在大规模集成电路制作中,与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

参考答案:

判断题

由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射,产生不稳定现象,所以在加工过程中,需要利用真空吸力,不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

参考答案:

判断题

只有在较高的真空条件中,电子和离子才能高速运动。

参考答案:

判断题

离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

参考答案:

判断题

离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

参考答案:

判断题

离子的质量远大于电子,故离子束加工的生产率比电子束高,但表面粗糙度稍差。

参考答案:

判断题

离子束加工和电子束加工类似,主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。

参考答案:

填空题

通常所说的“三束加工”(高能束)是指()和()

参考答案:激光束 、电子束;离子束
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