（1）温度升高，原子的自由能升高，在平衡位置附近的振动加剧，易于从一个平衡位置跳动到另一平衡位置，导致扩散系数增大。
（2）间隙固溶体的扩散激活能小，所以扩散系数较大；而置换固溶体的扩散激活能中包含空位形成能，扩散激活能较大，所以扩散系数较小。
（3）有些材料有多晶形性转变，晶体结构改变后扩散系数D也明显改变；另一方面，不同的溶剂对溶质的溶解度不同，形成的浓度梯度不同，也会影响扩散；
（4）晶体学的各向异性也会影响扩散。点阵对称性较差的晶体，其各个晶体学方向的扩散系数是有差别的。
（5）无论是置换固溶体还是间隙固溶体，其溶质原子的扩散系数都是随浓度的改变而改变的。如C在α-Fe中和C在γ-Fe中的扩散，含C量升高，扩散系数增大，在含C量较高时这种影响更明显。
（6）一般来说，晶体缺陷处是自由能较高的部位，原子通过缺陷进行扩散的激活能较低，所以晶体缺陷均可促进扩散。
（7）如果第三元不均匀分布，则不仅影响扩散速度，还可能影响扩散方向。