工作原理如下：
由He-Ne激光器发出的光经半透半反镜P后被分成两束，一束经固定反射镜M1反射回来，另一束经可动反射镜M2反射回来，两束光经过P后汇合产生干涉。光束1的光程不变，而光束2的光程则随着平台一起移动的M2的移动而改变。两光束光程差：

当两束光的光程相差激光半波长的偶数倍时，它们相互加强，在计数器的接收屏上形成亮条纹，当两束光的光程相差半波长的奇数倍时，它们相互抵消
，在接收屏上形成暗条纹。因此，M2沿光束2方向上每移动半波长（λ/2）的长度，光束2的光程就改变一个λ，于是干涉条纹就产生一个周期的明、暗变化。这个变化由光电转换装置转变成一个电信号而被光电计数器计数。并由显示和记录装置加以显示和记录。显然，我们只要记下M2移动时干涉条纹变化的周期数N就可以得到被测长度为：
L=N•（λ/2）
被测长度L也可以通过运算和显示电路直接显示出来。

入射光在透镜处的光斑半径：
聚焦后束腰半径：