由蠕变断裂机理可知要降低蠕变速度提高蠕变极限，必须控制位错攀移的速度；
要提高断裂抗力，即提高持久强度，必须抑制晶界的滑动，也就是说要控制晶内和晶界的扩散过程。
（一）合金化学成分的影响
耐热钢及合金的基体材料一般选用熔点高、自扩散激活能大或层错能低的金属及合金。
熔点愈高的金属自扩散愈慢 层错能降低易形成扩展位错 弥散相能强烈阻碍位错的滑移与攀移
在基体金属中加入（高熔点、半径差距大）的铬、钼、钨、铌等元素形成固溶体，固溶强化
降低层错能，易形成扩展位错。 加入能形成弥散相的合金元素，弥散强化阻碍位错的滑移
加入增加晶界扩散激活能的元素（硼、稀土等），阻碍晶界滑动
增大晶界裂纹面的表面能。
（二）冶炼工艺的影响 减少钢中的夹杂物和某些缺陷 合金定向生长（减少横向晶界）
（三）热处理工艺的影响
对于珠光体耐热钢，一般用正火加回火。
正火温度较高，促使碳化物较充分而均匀地溶入奥氏体。
回火温度应高于使用温度100~150℃以上，以提高其在使用温度下的组织稳定性。
对于奥氏体耐热钢，一般进行固溶处理和时效 获得适当的晶粒度，改善强化相的分布状态。
（四）晶粒度的影响
当使用温度低于等强温度时，细晶钢有较高的强度；当使用温度高于等强温度时，粗晶钢有较高的蠕变极限和持久强度极限。但晶粒太大会降低材料的塑性和韧度
晶粒度要均匀，否则在大小晶粒交界处易产生应力集中而形成裂纹。