判断题
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集成电路制造工艺中隔离扩散的深度可以不超过外延层的厚度。
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满足双极晶体管的正常工作,需要晶体管的基区非常薄,小于少子的扩散长度才可,这样使扩散远远大于复合。
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制备光刻掩膜版,希望黑白区域间的过渡区越大越好。
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在紫外光曝光、X射线曝光、电子束曝光技术中可实现直写式曝光不需要掩模版的是X射线曝光技术。
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判断题
通常称在低阻衬底材料上生长高阻外延层的工艺为正向外延,反之称为反向外延。
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PSG高温回流需要的温度要比BPSG高。
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判断题
LPCVD多晶硅和氮化硅等薄膜易形成保形覆盖,在低温APCVD中,非保形覆盖一般比较常见。
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判断题
相同掺杂浓度下,多晶硅的电阻率比单晶硅的电阻率高得多。
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判断题
LPCVD系统中淀积速率是受表面反应控制的,APCVD系统中淀积速率受质量输运控制。
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判断题
实现对CVD淀积多晶硅掺杂主要有三种工艺:扩散、离子注入、原位掺杂。由于原位掺杂比较简单,所以被广泛采用。
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CVD系统包括热壁式CVD系统和冷壁式CVD系统,在冷壁式CVD系统中侧壁温度与沉底温度相等。
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