波长色散型X荧光光谱仪是基于晶体的衍射，将不同波长的X射线分别进行检测。晶体与分光系统是仪器的核心，因此，仪器比较复杂；为消除高次X射线衍射干扰，仪器备有脉冲高度分析器。适合于实验室进行分析测定，可以检测原子序数大于4的元素。
能量色散型X荧光光谱仪是基于检测器的脉冲高度的大小进行甄别，仪器的核心是多道脉冲分析器。仪器结构比较简单，采用γ-放射源作为激发源，仪器可小型化，适宜于野外检测，可进行多元素同时测定，但轻元素的Kα不能分开，彼此有干扰。

由Woodward规则计算如下：