吸附法是用固体吸附剂吸附处理废气中有害气体的一种方法。吸附剂的条件是比表面积大，容易吸附和脱附，来源容易，价格较低。例如，活性炭、活性氧化铝等，用吸附法处理有害气体时，应结合生产的特点和有害气体的性质，恰当地选择吸附剂。例如，二氧化硫可以用活性炭来吸附，氟化氢可以用活性氧化铝或含有y型氧化铝的工业氧化铝来吸附。
常用的吸附设备有固定床、流化床和输送床。使用固定床时，为了使净化过程连续进行，常常是以氧化安装两台以上的设备。如下图是以氧化铝为吸附剂、以流化床为吸附设备，净化回收氟化氢气体的流程。

许多种有害气体都可以用吸附法来处理，并回收利用有用物质，但吸附法更适合于净化浓度较低、气体量较小的有害废气。如果浓度很高，气体量很大，一般不用吸附法处理。

湿式除尘设备有喷淋式、旋风式、水浴式、泡沫式、填料式、文氏管式和喷射式7种类型。各种湿式除尘设备的性能见表如下：