为获得与原材料相同成分的薄膜，当用蒸镀法制备预定成分的合金或化合物薄膜时，需对蒸发源进行改进，如采用瞬间蒸镀法和双蒸发源等。
（1）同时蒸发法
如果蒸镀材料是合金或者化合物，会有分馏现象，得到的膜的成分一般和蒸镀材料不同。同时蒸镀法就是使用不同蒸发源同时蒸发各组成元素，通过控制蒸发速率来获得设计成分薄膜
（2）瞬间蒸发法（闪蒸法）
当合金和化合物中的组元蒸发速度相差很大时，难于采用同时蒸发法。这时可以考虑瞬间蒸镀法，原理上就是把蒸发材料作成颗粒状或粉末状，再一点点地注入到高温蒸发源中，使蒸发物质在蒸发源上瞬间蒸发。这种方法可以制备和与蒸镀材料相同成分的薄膜。

磷化是在钢铁表面形成磷酸盐转移膜。表面防护、涂层底层、减摩。
发蓝是在钢铁表面形成一层F₃O₄转化膜。防护和装饰。