半导体芯片制造工章节练习(2020.06.09)

来源:考试资料网

问答题

参考答案:

常用胶粘剂有热固性树脂、热塑性树脂和橡胶型胶粘剂3大类。

问答题

参考答案:

晶体机构中质点排列的某种不规则性或不完善性。又称晶格缺陷。

问答题

参考答案:在气相外延生长过程中,首先是反应剂输运到衬底表面;接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子,硅原子按衬底晶向成核,长大成为...

问答题

参考答案:根据瑞利判据:要提高分辨率,可以通过增大数值孔径NA来实现。传统曝光设备在镜头与硅片之间的介质是空气,空气的折射率是1;...

问答题

参考答案:在线参数测试的4个主要子系统为:(1)探针卡接口:是自动测试仪与待测器件之间的接口。(2)硅片定位:为测试硅片,首先要确...

问答题

参考答案:净化间是硅片制造设备与外部环境隔离,免受诸如颗粒、金属、有机分子和静电释放(ESD)的玷污。一般来讲,那意味着这些玷污在...
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