微电子学章节练习(2019.08.21)

来源：考试资料网

问答题

参考答案：粘度越高转速越低，光刻胶就越厚

问答题

参考答案：等离子是一种中性，高能量，离子化的气体，包含中性原子或分子，带电离子和自由电子。RF能量的使用可以产生一个高功效的等离子...

问答题

参考答案：在显影时曝光区域由溶剂引起的泡胀；曝光时光刻胶可与氮气反应从而抑制其交联。

名词解释

参考答案：粒子和粒子碰撞前能够移动的平均距离。

问答题

参考答案：

问答题

参考答案：半导体器件和集成电路的制造对光刻质量有如下要求：一是刻蚀的图形完整，尺寸准确，边缘整齐陡直；二是图形内没有针孔；三是图形...

名词解释

参考答案： 是将掺杂气体导入放有硅片的高温炉中，将杂质扩散到硅片内的一种方法。

问答题

参考答案：DOF=入/（2*NA）²

问答题

参考答案：光刻（photolithography）就是将掩模版（光刻版）上的几何图形转移到覆盖在半导体衬底表面的对光辐照敏感薄膜材...

填空题

参考答案：微分；大；小

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