(1)检查母盘数量; (2)检查白片沟深、沟宽、厚度; (3)检查OD; (4)更换染料; (5)更换母盘。
(1)减小Start位置; (2)加大2P时间、压力; (3)清洁放气环; (4)降低静模温度。