集成电路工艺原理章节练习(2018.12.02)

在一定的温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固态或液态平衡时所表现出来的压力。

光刻机，光刻板（掩模板），光刻胶。

IC设计公司，只设计不生产。