集成电路工艺原理章节练习(2018.08.29)

又称光致抗蚀剂，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。

通过光化学反应，将光刻板上的图形转移到光刻胶上。

利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底表面上，并淀积成薄膜。