异质结双极性晶体管的发射极效率主要由禁带宽度差决定,几乎不受掺杂比的限制
P型杂质增加、N型杂质降低。
系统知识,电路知识,工具知识,工艺知识
介质衬底的背面应该完全被低欧姆金属覆盖并接地,使行波的电场主要集中在微带线下面的介质中。
增强型NMOS和耗尽型NMOS。
增强型
利用等离子体轰击被溅射物质使其分子或原子逸出,淀积到基片表面形成薄膜
生长缓冲层、沟道区注入、离子注入、CVD工艺淀积多晶硅、多晶硅掺杂、光刻和刻蚀形成多晶硅栅的图形。
双极工艺为基础的BiCMOS工艺用的多
影响BiCMOS器件性能的主要部分是双极部分。