什么是阻挡层金属？阻挡层材料的基本特征是什么？哪种金属常被用作阻挡层金属？

来源：考试资料网2019-07-26

叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。

来源：考试资料网2019-07-26

光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？

来源：考试资料网2019-07-26

解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？

来源：考试资料网2019-07-26

给出投影掩模板的定义。投影掩模板和光掩模板的区别是什么？

来源：考试资料网2019-07-26