CVD 装置通常可以由气源控制部件、沉积反应室、沉积温控部件、真空排气和压强控制部件等部分组成。

来源：考试资料网2021-02-03

红外辐射温度计测量范围是600至1600℃，基本误差≤±10℃。

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化学合成反应沉积是由两种或两种以上的反应原料气在沉积反应器中相互作用合成得到所需要的无机薄膜或其它材料形式的方法。

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CVD 技术中通过沉积反应易于生成所需要的材料沉积物，而沉积物均易挥发而留在气相排出或易于分离。

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简述热电偶真空规测量原理。

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