A. 工作电压越高,分辨率越高
B. 当电子束束流一定时,缩短工作距离可以提高图像分辨率,但会使景深变短
C. 束斑小分辨率高,但是成像质量较差
D. 工作电压越高,电子的穿透能力越强,电子与试样的作用体积越大,产生的二次电子信号越弱,表面的细节会变得不清晰