多项选择题

下列对器件尺寸参数描述正确的有（）

A．L是器件的沟道长度，W是器件的宽度
B．tox是器件栅氧化层的厚度，由工艺决定
C．一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的最小沟道长度L
D．一般所说的90nm工艺，其中的90nm是指器件的栅氧化层的厚度tox


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