等离子体在等离子化学气相沉积反应中的作用包括（ ）。 A. 将反应物气体分子激活成活性离子，降低反应温度 B. 加速反应物在表面的扩散作用，提高成膜速率 C. 对基片和薄膜具有溅射清洗作用 D. 原子、分子、离子和电子的相互碰撞可形成厚度均匀的薄膜