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CVD工艺当hg< <ks时,薄膜淀积速率受表面反应控制,对温度很敏感。>
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CVD工艺当 \( h_g < k_s \) 时,薄膜淀积速率受表面反应控制,对温度很敏感。在化学气相沉积(Chemic...
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