问答题

3、在半导体微光刻技术中,硅表面涂敷一层均匀光刻胶的最常用的方法是旋转涂胶方法,旋转涂胶大致有4个步骤:                                  。

答案: 滴胶、加速旋转、甩掉多余的胶、溶剂挥发
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