[问答题]比较砷化镓和磷化铟等衬底与硅衬底上的电感等效电路，试分析两者存在差异的原因。

[问答题]目前集成电路版图设计的主流工具有哪些？

[多项选择题]BiCMOS技术就是将（）和（）的优良性能集中在同一块集成电路器件中。BiCMOS综告了CMOS结构的低功耗、高集成度和TTL或ECL器件结构的高电流驱动能力。

[多项选择题]半导体工艺技术中，器件互连材料通常包括（）等。