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在着装方面,进入车间前都需穿戴对应的无尘衣或防静电服,其目的是为了防止人体、衣物等产生灰尘或静电对芯片造成损害。
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集成电路制造工艺的车间需要定期进行除尘清扫,其可以有效减少生产环境变化对产品质量的影响。
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风淋时到达设定时间后风淋结束,风淋室自动解锁,此时可打开风淋室内门,进入车间。
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