问答题

【简答题】简述溅射的概念及溅射参数？

答案：溅射是指荷能粒子轰击固体表面（靶），使固体原子或者分子从表面射出的现象。
1.溅射阈值
2.溅射率及...

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答案： 1.在辉光放电空间产生的电子可以获得足够的能量，足以产生碰撞电离；
2.由于减少了放电对二次电子的依赖，降低了...

【简答题】简述正常辉光放电和异常辉光放电的特征？

答案：正常辉光放电：在一定电流密度范围内，放电电压维持不变。
异常辉光放电：电流增大时，放电电极间电压升高，且阴极电...