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问答题
【简答题】简述溅射的概念及溅射参数?
答案:
溅射是指荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子或者分子从表面射出的现象。
1.溅射阈值
2.溅射率及...
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问答题
【简答题】简述射频辉光放电的特点?
答案:
1.在辉光放电空间产生的电子可以获得足够的能量,足以产生碰撞电离;
2.由于减少了放电对二次电子的依赖,降低了...
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问答题
【简答题】简述正常辉光放电和异常辉光放电的特征?
答案:
正常辉光放电:在一定电流密度范围内,放电电压维持不变。
异常辉光放电:电流增大时,放电电极间电压升高,且阴极电...
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