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判断题

电子探针显微分析仪（Electron Probe Micro Analyzer，简称EPIVIA）是试样表面照射电子束时的2次电子和反射电子来观察试样表面状态，并利用此时所产生的元素特有X射线来获取微区表面状态、化学元素的浓度及其空间分布的一种装置。

答案： 正确
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答案： 正确
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答案： 正确
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