问答题

【计算题】
某电容测微仪，其传感器的圆形极板半径r=4mm，工作初始间隙d=0.3mm，问：
（1）工作时，如果传感器与工件的间隙变化量∆d=2µm时，电容变化量是多少？
（2）如果测量电路的灵敏度S1=100mV/pF，读数仪表的灵敏度S2=5格/mV，在∆d=2µm时，读数仪表的示值变化多少格？

答案：

（1）∆C=0.987×10−14F（2）5格

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