A.装料时有一块线性尺寸大约50mm原料掉落在运料小车上,捡起装入坩埚 B.装料过程中发现原料中有毛线头一段,其他未发现异常,检出后继续装料 C.原料中有颗粒料30kg时,其他为块料,颗粒料应该装在坩埚上部 D.颗粒料不能装满,保证原料上端距石英坩埚上平口30-40mm距离
A.确认没有严重影响高纯卫生的情况(如电焊,施工等)。 B.确认装料室地面干净,无积水,清理时要求使用潮湿的排拖 C.确认《单晶生产随工单》各项内容与实际情况相符 D.每次装料前确保吸盘、吸盘防护罩、装料车、运料小车(泡沫及防护纸)、防尘罩等必备工装运行良好。 E.以上都是