单项选择题

当刻蚀线条时，刻蚀的深度V与一边的横向增加量ΔX的比值称之为（）。

A、刻蚀速率
B、刻蚀均匀性
C、刻蚀选择比
D、刻蚀因子

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单项选择题

袁宏道的文集众多，但不包括（）。

A、《青丘集》
B、《瓶花斋集》
C、《破砚斋集》
D、《广陵集》

单项选择题

（）的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。

A、干法刻蚀
B、湿法刻蚀
C、化学刻蚀
D、物理刻蚀