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【简答题】什么是多层金属化?它对芯片加工来说为什么是必需的?
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【简答题】例举并描述薄膜生长的三个阶段。
答案:
(1)晶核形成
分离的小膜层形成于衬底表面,是薄膜进一步生长的基础。
(2)凝聚成束
形成...
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【简答题】什么是薄膜?
答案:
薄膜:指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质。
好的台阶覆盖能力 、高的深宽比填隙能力(>3:...
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