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【简答题】使用CVD法成长钻石薄膜,氢元素和碳元素的浓度有何重要性?
答案:
CVD生长钻石膜的瓶颈乃在避免碳氢化物形成石墨,因此氢原子应比碳源多很多。碳源浓度决定了钻石膜的生长速率,但碳源太高时氢...
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【简答题】试说明CVD法生长钻石薄膜之特性?
答案:
为使CVD的钻石生长顺利,碳源常用已具钻石结构的甲烷。甲烷可视为以氢压出的单原子钻石。所以故煮饭时的煤气含大量悬浮的单原...
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【简答题】试说明PVD法生长钻石薄膜之特性?
答案:
PVD沉积钻石时除撞击区的少数原子外,其它的碳原子乃在真空下,而且温度很低,因此常被认为是低压法。由于钻石在低压为介稳定...
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