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【简答题】什么是化学镀膜?它与化学沉积镀膜的区别?
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化学镀膜是指在还原剂的作用下,使金属盐中的金属离子还原成原子,在基片表面沉积的镀膜技术,又称无电源电镀。化学镀不加电场、...
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答案:
冷壁CVD:器壁和原料区都不加热,仅基片被加热,沉积区一般采用感应加热或光辐射加热。缺点是有较大温差,温度均匀性问题需特...
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