A.纠偏超行程报警B.多吸片报警C.伺服极限报警D.吸取不良真空报警
A.3英寸B.6英寸C.9英寸D.12英寸
A.采用2个CCD进行边缘检测B.具备防止极片翘曲装置C.CCD具备复检功能D.纠偏范围>10mm