多项选择题

2020年国务院出台的《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》中明确提出，进一步优化集成电路产业和软件产业发展环境，深化产业国际合作，提升产业（）。

A.创新能力
B.销售数量
C.发展质量
D.投资总额
E.人才引进

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多项选择题

在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的（），经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例（）后映射到硅片上，然后使用（）方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

A.掩模
B.缩小
C.化学
D.物理
E.扩大

多项选择题

集成电路产业链有（）。

A.芯片（chip）设计
B.晶圆（wafer）和芯片制造
C.晶圆和芯片设备制造
D.芯片封装（package）、测试（test）
E.芯片材料生产